天天做天天爱天天综合网丨欧美亚洲色综久久精品国产丨18禁黄网站禁片免费观看丨亚洲伊人成无码综合网丨亚洲欲色欲香天天综合网

/ EN
13922884048

資訊中心

information centre
/
/
/

寸土寸金的晶圓為啥要留平邊(flat)或凹槽(notch)?

發布時間:2024-09-19作者來源:薩科微瀏覽:3314

晶圓上留下的平邊(flat)或凹槽(notch)主要用于幫助在制造和處理過程中確定晶圓的類型、摻雜和晶向等信息。

1. 晶圓的晶向識別

硅晶圓是由單晶硅錠通過切片制成的,硅晶錠的晶向(晶體結構排列的方向)對于半導體器件的性能和加工工藝非常重要。

晶向包括常見的(100)、(110)和(111)晶向,不同晶向的硅表面有不同的物理和化學性質,對器件的電性能和蝕刻工藝會產生不同的影響。因此,在加工過程中必須確保晶向的正確識別。

圖片

平邊(flat)或凹槽(notch)就是用來指示晶向的。通過這些標識,可以快速確定晶圓的具體晶向,從而指導后續的晶圓加工操作。

2. 摻雜類型的識別

半導體制造過程中,硅晶圓可以通過摻雜不同的元素(如硼、磷等)來形成p型或n型導電類型。p型硅晶圓摻入的是三價元素(如硼),而n型晶圓摻入的是五價元素(如磷)。

平邊(flat)不僅指示晶向,還提供了摻雜類型的信息。通過flat的相對位置和形狀,工藝人員可以立即識別晶圓的導電類型(p型或n型),從而避免使用錯誤類型的晶圓進行器件制造。

3. 機械對準的便捷性

晶圓在制造的多個環節中需要進行定位和對準,如光刻、蝕刻、摻雜等。在這些工藝中,需要精確定位晶圓的方向,確保每一步工藝都與前一步保持一致性。

在2英寸到6英寸的晶圓上,使用平邊(flat)作為對準參考點,工藝設備可以方便地將晶圓放置到正確的位置。對于8英寸及以上的大尺寸晶圓,notch更為常見。notch更小,不占用晶圓的有效面積,并且現代自動化設備可以更容易識別和處理notch。

圖片

4. 晶圓尺寸與標識方式的關系

傳統上,2英寸到6英寸的晶圓主要使用flat,這種較大平邊的標識方便手動和半自動的設備進行對準和識別。平邊提供了足夠大的視覺參考,便于手工操作。

圖片

而8英寸及以上的晶圓由于其尺寸較大,平邊會占據較多的有效制造區域。notch的引入解決了這個問題:它僅在晶圓的邊緣留有一個很小的凹槽,既保留了標識功能,又[敏感詞]限度地提高了晶圓的有效面積利用率。

5. 可根據客戶需求定制

雖然一般情況下8英寸及以上晶圓使用notch,8英寸以下晶圓使用flat,但根據客戶的需求,也可以對標識方式進行定制。例如,一些客戶可能要求8英寸晶圓依然使用flat來滿足特定設備或工藝的需求。SEMI對wafer的標準如下:

圖片

平邊(flat)和凹槽(notch)的主要作用是提供晶圓的晶向和摻雜信息,同時幫助設備對準晶圓。在小尺寸晶圓中,flat方便手動操作,而在大尺寸晶圓中,notch能有效節省制造面積,并且與現代自動化設備更匹配。這些設計確保了晶圓加工過程的精確性和效率,同時我們一看晶圓就知道一些晶體的基本信息。

免責聲明:本文采摘自“老虎說芯”,本文僅代表作者個人觀點,不代表薩科微及行業觀點,只為轉載與分享,支持保護知識產權,轉載請注明原出處及作者,如有侵權請聯系我們刪除。

服務熱線

0755-83044319

霍爾元件咨詢

肖特基二極管咨詢

TVS/ESD咨詢

獲取產品資料

主站蜘蛛池模板: 四虎永久在线精品无码视频| 亚洲综合色区无码专区| 狠狠躁日日躁夜夜躁2022麻豆| 精品无人区一区二区三区在线| 亚洲中文字幕久久精品无码va| 国产精品久久久久久tv| 亚洲欧美另类精品二区| 亚洲a无码综合a国产av中文| 亚洲免费观看在线视频| 2018av天堂在线视频精品观看| 婷婷色婷婷开心五月| 欧美专区日韩视频人妻| 真实国产乱子伦在线视频| 涩欲国产一区二区三区四区| 法国伦理少妇愉情| 色播久久人人爽人人爽人人片av | 疯狂三人交性欧美| 欧美日韩午夜群交多人轮换| 蜜桃av色偷偷av老熟女| 国产成人av免费网址| 特级小箩利无码毛片| 国产高清在线a免费视频观看 | 女同亚洲一区二区无线码| 精品国际久久久久999波多野| 放荡的少妇2欧美版| 女人爽到高潮免费看视频| 色8久久人人97超碰香蕉987| 蜜臀色欲av在线播放国产日韩| 日本无码一区二区三区不卡免费| 人妻在卧室被老板疯狂进入| 国产色在线 | 亚洲| 国产乱码日产精品bd| 亚洲一区二区三区高清在线看| 精品人妻av区波多野结衣| 欧美黑人又粗又大高潮喷水 | 午夜福利一区二区三区在线观看| 综合在线视频精品专区| 男女久久久国产一区二区三区| 久久久久久av无码免费网站| 最近2019中文字幕大全第二页| 在线观看片免费人成视频播放|