根據中國大陸海關發布的數據，從2017年1月至今(6月)，我國大陸從世界各地進口了接近100億美金的半導體和IC制造設備(含二手)

我特地下載了數據，并進行整理。由于數據量較大，我計劃分上下兩期發布：

注) 我國海關將今年1、2月的數據合并發布，所以我將數據統一放在二月，實際該月數據是包含兩個月的數據

一、氧化擴散等熱處理設備

42個月，中國大陸進口氧化擴散等熱處理設備約32.3億美金。由圖可見，從去年下半年開始，進口量金額大幅增加：

從下面比例圖上可見，中國大陸進口的氧化擴散等熱處理設備，有超過6成來自日本

二、化學氣相沉積裝置 (CVD)

同期中，CVD設備的進口金額約66.2億美金。從圖上看，我國從2018年開始進口量比較平穩，沒有太大變化

而從進口國家地區分布上看，CVD設備的最主要來源居然是新加坡。這可能是美日供應商在新加坡的分公司生產或組裝后直接出口到大陸的。后續有機會我會再調查一下細節，也歡迎讀者提供線索

三、物理氣相沉積裝置 (PVD)

與熱處理擴散設備和CVD設備不同，我國進口的PVD設備的高峰在2018年。2019和2020進口數額反而有下降趨勢，而且金額總數也相對偏低。同期進口只有21億美金

從進口來源地區看，美國、新加坡及德國排在前三位

四、其他薄膜沉積設備

其它成膜設備的進口量很少，同期只有4.8億美金，且金額數值起伏變化劇烈，參考價值不大

五、離子注入機

離子注入設備的進口量相對其它主要設備偏少，同期只有12.7億美金，但是作為半導體和IC制造不可或缺的重要設備，其進口來源單一，主要被美國一家壟斷。這對于我國半導體產業的供應鏈安全而言是一個比較大的隱患

以上是我目前統計整理的5大類半導體制造設備的進口金額數據，而目前中國海關總共分類是10種。另外的5種分別是：

• 分步重復光刻機

• 其他投影繪制電路圖裝置

• 等離子體干法刻蝕機

• 其他刻蝕及剝離設備

• 離子注入機

• 其他機器及裝置

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